p-GaNへのピコ秒パルスレーザー照射によるオーミック電極の作製
採択年度 | 2023年度 |
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研究者氏名 | 徳島大学 大学院社会産業理工学研究部 准教授 富田 卓朗 |
萌芽研究テーマ | C:電力インフラの信頼性・環境調和性の向上への挑戦 |
研究概要 | p型GaN基板上に蒸着した電極材料に対し、GaN基板側からピコ秒レーザーパルスを照射することで、金属原子を基板内部に拡散させ、オーミック電極を形成することを目標とする。先行研究においてピコ秒のレーザー照射を行ったところ、ニッケル(Ni)原子がGaN基板内部に拡散していることが明らかになった。そこで、ピコ秒レーザーを作製し、電極へのピコ秒レーザー照射を行うことで、GaN基板へのオーミック電極の作製を目指す。 |
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