次世代省エネパワーデバイスに向けた高強度パルスイオン注入法に関する研究
採択年度 | 2013年度 |
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研究者氏名 | 富山大学大学院 理工学研究部 環境エネルギー学域 教授 伊藤 弘昭 |
萌芽研究テーマ | B:エネルギー利用技術の高度化・省エネ化への挑戦 |
研究概要 | 炭化ケイ素に代表される次世代省エネルギーデバイス実現に向け、新しいイオン注入技術としてイオン注入とアニール処理が同時にできる“パルスイオン注入法”の有用性を検証するため、パルスイオンビーム発生技術のさらなる高度化を行い、パルスイオン注入効果を検証する。 |
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