リモート窒素プラズマによるSiCの窒化特性とその改善に関する研究
採択年度 | 2015年度 |
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研究者氏名 | 北海道大学 大学院工学院 量子理工学専攻 プラズマ応用工学研究室 博士前期課程2年 嶋林 正晴 |
萌芽研究テーマ | C:電力インフラの信頼性・環境調和性の向上への挑戦 |
研究概要 | SiCトランジスターは省エネルギー社会を実現するためのキーデバイスである。しかし,現状のSiCトランジスターはチャネル領域に存在する欠陥を原因とする電気特性の低下という大きな問題を抱えている。本研究では、窒素プラズマを用いてSiCの最表面をNで終端することで、チャネル領域の欠陥の除去を試みる。また、より理想的な界面を生成するために、窒化プロセス自体の改善を行う。本研究の完成により、従来よりも高性能なSiC-MOSFETを製造できるようになり、省エネルギー社会の構築、発展に貢献することができるものと確信する。 |
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