低コストなエナジーハーベスティング実現のための非真空プロセスによるフレキシブルな準安定酸化ガリウムの結晶成長と素子応用
採択年度 | 2019年度 |
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研究者氏名 | 京都工芸繊維大学大学院 工芸科学研究科 電子システム工学専攻 修士課程2年 新田 悠汰 |
萌芽研究テーマ | B:エネルギー利用技術の高度化・省エネ化への挑戦 |
研究概要 | 近年、光や熱、振動など環境中に存在するものからエネルギーを採取するエナジーハーベスティングが発展を遂げているが、発電量に対するコストの高さが指摘されている。本研究ではエナジーハーベスティングの低コスト化を目指して、強誘電体特性を持つε相酸化ガリウム(ε-Ga2O3)を非真空プロセスにより結晶成長している。ε-Ga2O3を用いたデバイスを作製し、低コスト化を達成することで、エナジーハーベスティングの応用領域の多様化・拡大に寄与できる。 |
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