採択年度 2013年度
研究者氏名 富山大学大学院 理工学研究部 環境エネルギー学域 教授 伊藤 弘昭
萌芽研究テーマ B:エネルギー利用技術の高度化・省エネ化への挑戦
研究概要 炭化ケイ素に代表される次世代省エネルギーデバイス実現に向け、新しいイオン注入技術としてイオン注入とアニール処理が同時にできる“パルスイオン注入法”の有用性を検証するため、パルスイオンビーム発生技術のさらなる高度化を行い、パルスイオン注入効果を検証する。
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